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凤凰体育_常见激光微加工技术及其进展情况


本文摘要:1.张自1960年首次激光问世以来,激光研究及其在各个领域的应用迅速发展。

1.张自1960年首次激光问世以来,激光研究及其在各个领域的应用迅速发展。低一致性被广泛应用于低精度测量、物质结构分析、信息存储和通信领域。激光的高方向性和高亮度可以普遍应用于加工制造业。

激光零部件、新的刺激电磁辐射光源、适当工艺的大力创新和优化,特别是近20年来,激光生产技术已经渗透到许多高科技领域和产业,开始取代或改造一些传统加工业。1987年,美国科学家明确提出了微机械系统(MEMS)开发计划,标志着人类对微机械的研究进入了一个新时代。目前,应用于微机械的生产技术主要有半导体加工技术、微光上的电动铸型制造(LIGA)工艺、超精密机械加工技术、特殊微加工技术等。

其中特殊的微加工方法是起到加工能量所需的作用,构建小分子或原子的去除加工。特殊加工利用电能、热能、光能、声能、化学能等能源形式开展加工,常用方法有火花加工、超声波加工、电子束加工、离子束加工、电解加工等。

近年来,实现小加工的新方法——光整形法、立体广角工艺、光膜层工艺等共同发展。其中,利用激光开展微加工表明,它具有很大的潜力和诱人的发展前景。为了适应环境21世纪高新技术的产业化,适应微观生产的需要,研究开发高性能激光源是必不可少的。激光加工的一个分支,激光微加工在过去10年里受到了普遍关注。

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原因之一是不断出现更有效的激光源。例如,具有极高峰值功率和非脉冲液体激光器、光束质量高的二极管泵浦的Nd:YAG激光器等。另一个原因是有更准确、更快速的数控操作者平台。

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但是更重要的原因之一是不断产生的工业市场需求。微电子加工中,将激光微加工技术用于半导体层的穿孔、寄存器剪切和电路维修。

激光微加工一般是指几到几百微米的加工尺寸。激光脉冲的宽度介于飞秒(fs)和纳秒(ns)之间。

从远红外线到X射线的激光波长的长波段范围。目前主要应用于微电子、微机械、微光学加工三个主要领域。

随着激光微加工技术的发展和成熟期,将在更广泛的领域推进和应用。其次,激光微加工技术的主要应用是随着电子产品向便携式小型化方向发展,随着单位体积信息的增加(高密度)和单位时间处理速度的增加(高速化),用于明确提出对微电子PCB技术大幅增长的新市场需求。


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